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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问刻蚀结束后如何彻底除去表面的石蜡或蜡烛？
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tjjm

铁虫 (正式写手)

[求助] 请问刻蚀结束后如何彻底除去表面的石蜡或蜡烛？

我正在做玻璃的刻蚀
在玻璃表面涂一层蜡烛。。。
然后挖出图案，用HF腐蚀。。。

问题是，结束后我的蜡烛除不干净啊。。。
用小刀刮不干净，用乙醇，DMF，甲苯，甚至硫酸都去不掉。。。
我的基片在刻蚀后要求是非常洁净的。。。
有没有做过的人指导一下啊。。。拜托！！！
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1楼 2013-04-06 09:53:15
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supconsimit

木虫 (正式写手)
可否考虑氧的Plasma？如果对你的样品没有破坏的话。
或者Ar plasma
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8楼2013-04-13 23:40:00
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xucg

禁虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
tjjm: 金币+5, ★有帮助 2013-04-07 12:49:49
本帖内容被屏蔽
2楼2013-04-06 17:58:52
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jqliu

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是的用汽油还是很有效的。
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4楼2013-04-07 07:58:53
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百旗般若

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
tjjm: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-04-07 12:49:39
开水煮也行，然后在用洗涤精搓洗，我试过
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5楼2013-04-07 08:12:50
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查看全部 11 个回答
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