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1164528573

金虫 (正式写手)


[求助] 急求氧化铝XRD图谱分析

我用PVD法制备的氧化铝薄膜,由于薄膜很薄,我就用XRD掠入射测试,图谱出来了,但标准卡片里没有对应的  这是什么原因呢?望高手帮忙分析一下哈
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1164528573

金虫 (正式写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by zhilihu at 2013-04-05 10:28:52
后面的两个强峰应该是你的基底的峰,前面一个馒头峰,后面4个小峰应该是你薄膜的峰,具体我也没对上

但是我用的基底是非晶硅片哈,你比对起来和标准卡片相差多少哈?
3楼2013-04-05 15:52:39
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查看全部 8 个回答

zhilihu

木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
1164528573: 金币+5, 有帮助 2013-04-05 15:51:38
crity328: 金币+1, 感谢交流,欢迎常来! 2013-04-05 16:04:01
后面的两个强峰应该是你的基底的峰,前面一个馒头峰,后面4个小峰应该是你薄膜的峰,具体我也没对上
2楼2013-04-05 10:28:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

1164528573

金虫 (正式写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by zhilihu at 2013-04-05 10:28:52
后面的两个强峰应该是你的基底的峰,前面一个馒头峰,后面4个小峰应该是你薄膜的峰,具体我也没对上

并且我测试了一下XPS 完全是氧化铝的峰啊
4楼2013-04-05 15:53:12
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zhilihu

木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 1164528573 at 2013-04-05 15:52:39
但是我用的基底是非晶硅片哈,你比对起来和标准卡片相差多少哈?...

后面两个强风不可能是薄膜的峰,没那么强的。前面的峰也能和氧化铝对上,不过不是很确定

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

5楼2013-04-05 18:56:27
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