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压电二氧化硅纳米尺寸的材料常量
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微传感器研究后面用到一个算例， 我选的材料是二氧化硅 就是作为压电薄膜的材料 觉得二氧化硅的各种参数比较好找， 而且我不是研究材料的，就是用二氧化硅作为一个算例而已 但是 我发现二氧化硅的材料参数也不是很好找哎。。。 因为我的尺寸是在纳米量级的，薄膜厚度在纳米量级之后，表层的材料常数会与体的不同，二氧化硅薄膜在纳米量级之后的弹性模量，泊松比，还有表面的弹性常量在哪里可以查到呢？ |
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wu1008
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