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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 清理基片过程
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lmcr

铜虫 (小有名气)

[交流] 清理基片过程

如题，

最近在清理基片，其中有些不时很明白，丙酮清理基片主要是清理基片上面的有机物嘛？然后又用异丙醇的目的是什么？最后用去离子水的作用？为什么要选择去离子水呢？

谢谢先！
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1楼 2013-03-30 03:57:19
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★
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lmcr: 金币+1 2013-04-03 04:01:28
lmcr: 金币+1 2013-04-11 03:17:52
丙酮是清洗有机物，异丙醇是清洗丙酮，去离子水是清洗异丙醇。只有相溶的溶剂才能相互清洗。
用去离子水是因为去离子水是最干净的，又便宜。
清洗基片，最好是RCA。
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9楼2013-03-31 14:18:35
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zeiss

金虫 (小有名气)
★ ★ ★
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zhaohaixing: 欢迎来功能材料版块交流~ 2013-03-30 16:33:12
lmcr: 金币+1 2013-04-03 04:02:08
lmcr: 金币+1 2013-04-11 03:17:02
丙酮是用来清洗有机物的，但是丙酮有毒，使用时要注意，也可以用乙醇代替。异丙醇我没用过，不知道其目的。去离子水没什么特别的原因，就是 因为其纯度比较高，不含任何杂质，清洗后基片上不会残留什么杂质离子的，影响薄膜的生长。希望对你有所帮助。
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2楼2013-03-30 11:03:20
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anjin0716

银虫 (著名写手)
★ ★
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zhaohaixing: 欢迎来功能材料版块交流~ 2013-03-30 16:33:28
lmcr: 金币+1 2013-04-03 04:02:35
可能是去污时和丙酮反应的，或极性丙酮不能清除的吧，也有可能是为了清洗的更洁净吧，不过你把异丙醇这不去掉，也不会有太大影响啊！
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3楼2013-03-30 13:58:45
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易水刀客

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
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lmcr: 金币+1 2013-04-03 04:02:55
我们用碱液搓。然后用去离子水冲洗。我见过那种用丙酮和乙醇，去离子水处理的。涂膜状况奇差
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4楼2013-03-31 08:44:13
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