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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 前沿热点 » 钛铝靶材溅射后出现黄色斑点
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miaoyan

新虫 (初入文坛)

[求助] 钛铝靶材溅射后出现黄色斑点

我们的钛铝靶进行镀膜的时候，出现局部的金黄色，还是亲大神解释一下！

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1楼2013-03-29 17:00:59
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shinali

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
miaoyan(ant_512代发): 金币+1, 奖励！ 2013-04-26 10:37:17
主要原因应该是工作气体不干净，出现氮化钛
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2楼2013-04-26 10:30:16
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miaoyan

新虫 (初入文坛)
我的靶材需要通入氮气和氩气呀。怎会不会生产氮化钛？
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3楼2013-04-28 14:22:30
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