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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 为什么我镀的氮化铝薄膜呈青色
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xiruihou

铁虫 (初入文坛)

[求助] 为什么我镀的氮化铝薄膜呈青色

我用磁控溅射装置镀膜，通入氩气10sccm和氮气20sccm，用直流点燃铝靶200w，真空度1*10-8Torr结果镀的氮化铝薄膜发青色，谁知道是为什么呀。
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开心天晴
1楼 2013-03-29 10:13:15
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jiahong517

铁虫 (初入文坛)
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5楼2014-05-27 00:30:26
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wangbo1966

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可能和膜厚有关，青色来自于两个反射面的光干涉效果。
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2楼2013-03-29 13:55:00
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xiruihou

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wangbo1966 at 2013-03-29 13:55:00
可能和膜厚有关，青色来自于两个反射面的光干涉效果。

谢谢了，我想再问下，我用椭偏仪测量了我的薄膜，用的是632.5的红光为什么折射率只有1.66呢，不应当是2.0左右吗，是不是我加的氮气太多了，是不是应当减少点。麻烦了
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开心天晴
3楼2013-04-01 22:04:56
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wangbo1966

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
zpsun1982: 金币+1, 鼓励交流！ 2013-04-03 13:23:06
引用回帖:
3楼: Originally posted by xiruihou at 2013-04-01 22:04:56
谢谢了，我想再问下，我用椭偏仪测量了我的薄膜，用的是632.5的红光为什么折射率只有1.66呢，不应当是2.0左右吗，是不是我加的氮气太多了，是不是应当减少点。麻烦了...

可能是组分配比不对。但说不好是氮多了还是少了，另外对于密封性不太好的系统还可能有氧掺杂。你可以尝试测一下XPS，以确定各组分的原子比。为了避免表面吸附的干扰，应在测XPS时先将表面溅射一下，去除表层的吸附层，然后主要测量下面的N-Al-O三个元素的组分比，这样你就知道该如何调整溅射气氛了。
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4楼2013-04-02 00:35:28
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