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jzsunjia

金虫 (正式写手)


[交流] 请教高手帮忙分析单晶硅的raman图

最近刚开始接触raman,对单晶硅做了一次测试,如下图,在raman图上就认识523cm-1处的Si 峰,其余的都不知了……真是伤不起啊,
是老板给的试样,说是有什么杂质成分在里面,但我没查到是什么,,,,
求大虫予以指点下图中标问号的成分,尤其是那个双问号哦。
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jzsunjia: 金币+3 2013-03-27 22:05:17
引用回帖:
3楼: Originally posted by jzsunjia at 2013-03-27 18:18:31
我看有的文献中说的,The large extended peak from 900-1000cm-1 is a silicon feature resulting from second-order Raman scattering. 不知道这句是什么意思?
...

上述英文的意思是,1000的峰是来自si的二阶拉曼特征峰。通俗地讲,就是523那个峰的倍频峰。但是由于散射之类的,导致峰位蓝移,半高宽增加等等。
4楼2013-03-27 19:01:30
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jzsunjia: 金币+2 2013-03-27 22:05:25
引用回帖:
4楼: Originally posted by wulishi8 at 2013-03-27 19:01:30
上述英文的意思是,1000的峰是来自si的二阶拉曼特征峰。通俗地讲,就是523那个峰的倍频峰。但是由于散射之类的,导致峰位蓝移,半高宽增加等等。...

楼上正解。
杂质峰一般都很小的,你的单晶的掺杂除非很高。
5楼2013-03-27 19:42:33
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jzsunjia: 金币+1 2013-03-27 18:16:00
单晶硅嘛,无非就是掺P,B,As的。你那个九百多的峰,是不是P啊。
其它的峰,估计不重要,没准是硅片表面没洗干净,或者是表面的原生氧化层。
2楼2013-03-27 15:10:57
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jzsunjia

金虫 (正式写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-03-27 15:10:57
单晶硅嘛,无非就是掺P,B,As的。你那个九百多的峰,是不是P啊。
其它的峰,估计不重要,没准是硅片表面没洗干净,或者是表面的原生氧化层。

我看有的文献中说的,The large extended peak from 900-1000cm-1 is a silicon feature resulting from second-order Raman scattering. 不知道这句是什么意思?
3楼2013-03-27 18:18:31
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jzsunjia

金虫 (正式写手)


引用回帖:
4楼: Originally posted by wulishi8 at 2013-03-27 19:01:30
上述英文的意思是,1000的峰是来自si的二阶拉曼特征峰。通俗地讲,就是523那个峰的倍频峰。但是由于散射之类的,导致峰位蓝移,半高宽增加等等。...

其他的小峰是什么啊?
6楼2013-03-27 22:06:41
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jzsunjia: 金币+2 2013-03-28 12:35:14
引用回帖:
6楼: Originally posted by jzsunjia at 2013-03-27 22:06:41
其他的小峰是什么啊?...

其他的不能算是峰。
信噪比有点低。
一般在320左右也有一个极弱的峰。不过你的图里没有看出来。一般也看不出来,除非专门测这个峰附近。
7楼2013-03-27 22:35:03
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sucurse

铜虫 (小有名气)



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单晶硅掺P,B,As,Ga。
在于你的型号,是P型单晶,还是N型单晶,影响其傅里叶光谱峰值的,考虑一下其是否和氧、碳的峰值是否相同。
8楼2013-10-18 19:26:31
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jzsunjia

金虫 (正式写手)


引用回帖:
8楼: Originally posted by sucurse at 2013-10-18 19:26:31
单晶硅掺P,B,As,Ga。
在于你的型号,是P型单晶,还是N型单晶,影响其傅里叶光谱峰值的,考虑一下其是否和氧、碳的峰值是否相同。

恩,好的。你的见解很实用。谢谢
9楼2013-10-18 22:26:19
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
加大积分时间或者积分次数试试,那两个小峰基本无法确定是不是真实存在的,另外拉曼这东西很容易有杂峰的,多打几个地方确认一下
10楼2013-10-19 11:17:02
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jzsunjia

金虫 (正式写手)


引用回帖:
10楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-10-19 11:17:02
加大积分时间或者积分次数试试,那两个小峰基本无法确定是不是真实存在的,另外拉曼这东西很容易有杂峰的,多打几个地方确认一下

恩,好的,对,谢谢
11楼2013-10-19 15:10:09
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