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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 请教高手帮忙分析单晶硅的raman图
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jzsunjia

金虫 (正式写手)

[交流] 请教高手帮忙分析单晶硅的raman图

最近刚开始接触raman，对单晶硅做了一次测试，如下图，在raman图上就认识523cm-1处的Si 峰，其余的都不知了……真是伤不起啊，
是老板给的试样，说是有什么杂质成分在里面，但我没查到是什么，，，，
求大虫予以指点下图中标问号的成分，尤其是那个双问号哦。
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1楼 2013-03-26 23:05:27
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wulishi8

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jzsunjia: 金币+3 2013-03-27 22:05:17
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3楼: Originally posted by jzsunjia at 2013-03-27 18:18:31
我看有的文献中说的，The large extended peak from 900-1000cm-1 is a silicon feature resulting from second-order Raman scattering. 不知道这句是什么意思？
...

上述英文的意思是，1000的峰是来自si的二阶拉曼特征峰。通俗地讲，就是523那个峰的倍频峰。但是由于散射之类的，导致峰位蓝移，半高宽增加等等。
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4楼2013-03-27 19:01:30
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yswyx

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jzsunjia: 金币+2 2013-03-27 22:05:25
引用回帖:
4楼: Originally posted by wulishi8 at 2013-03-27 19:01:30
上述英文的意思是，1000的峰是来自si的二阶拉曼特征峰。通俗地讲，就是523那个峰的倍频峰。但是由于散射之类的，导致峰位蓝移，半高宽增加等等。...

楼上正解。
杂质峰一般都很小的，你的单晶的掺杂除非很高。
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5楼2013-03-27 19:42:33
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yswyx

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jzsunjia: 金币+1 2013-03-27 18:16:00
单晶硅嘛，无非就是掺P，B，As的。你那个九百多的峰，是不是P啊。
其它的峰，估计不重要，没准是硅片表面没洗干净，或者是表面的原生氧化层。
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2楼2013-03-27 15:10:57
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jzsunjia

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-03-27 15:10:57
单晶硅嘛，无非就是掺P，B，As的。你那个九百多的峰，是不是P啊。
其它的峰，估计不重要，没准是硅片表面没洗干净，或者是表面的原生氧化层。

我看有的文献中说的，The large extended peak from 900-1000cm-1 is a silicon feature resulting from second-order Raman scattering. 不知道这句是什么意思？
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3楼2013-03-27 18:18:31
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jzsunjia

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by wulishi8 at 2013-03-27 19:01:30
上述英文的意思是，1000的峰是来自si的二阶拉曼特征峰。通俗地讲，就是523那个峰的倍频峰。但是由于散射之类的，导致峰位蓝移，半高宽增加等等。...

其他的小峰是什么啊？
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6楼2013-03-27 22:06:41
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wulishi8

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jzsunjia: 金币+2 2013-03-28 12:35:14
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6楼: Originally posted by jzsunjia at 2013-03-27 22:06:41
其他的小峰是什么啊？...

其他的不能算是峰。
信噪比有点低。
一般在320左右也有一个极弱的峰。不过你的图里没有看出来。一般也看不出来，除非专门测这个峰附近。
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7楼2013-03-27 22:35:03
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sucurse

铜虫 (小有名气)
★
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单晶硅掺P，B，As,Ga。
在于你的型号，是P型单晶，还是N型单晶，影响其傅里叶光谱峰值的，考虑一下其是否和氧、碳的峰值是否相同。
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8楼2013-10-18 19:26:31
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jzsunjia

金虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by sucurse at 2013-10-18 19:26:31
单晶硅掺P，B，As,Ga。
在于你的型号，是P型单晶，还是N型单晶，影响其傅里叶光谱峰值的，考虑一下其是否和氧、碳的峰值是否相同。

恩，好的。你的见解很实用。谢谢
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9楼2013-10-18 22:26:19
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
★
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加大积分时间或者积分次数试试,那两个小峰基本无法确定是不是真实存在的,另外拉曼这东西很容易有杂峰的,多打几个地方确认一下
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10楼2013-10-19 11:17:02
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jzsunjia

金虫 (正式写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-10-19 11:17:02
加大积分时间或者积分次数试试,那两个小峰基本无法确定是不是真实存在的,另外拉曼这东西很容易有杂峰的,多打几个地方确认一下

恩，好的，对，谢谢
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11楼2013-10-19 15:10:09
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