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yj7979

金虫 (初入文坛)

[求助] 求助：碳化硅用CF4+10%O2刻蚀的话，工艺参数如何控制啊？急！

那位大侠知道碳化硅用CF4+10%O2刻蚀的话，工艺参数如何控制啊？谢谢了，急！
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1楼 2013-03-21 22:18:46
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Jason

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1-4min 要自己摸索的
哥们儿的家伙不错啊  这玩意儿国内不多
等离子刻蚀  你是哪个学校的啊
赞一下 回复此楼
Jason
2楼2013-03-21 22:26:17
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