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求助：碳化硅用CF4+10%O2刻蚀的话，工艺参数如何控制啊？急！
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| 那位大侠知道碳化硅用CF4+10%O2刻蚀的话，工艺参数如何控制啊？谢谢了，急！ |
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Jason
木虫 (著名写手)
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2楼2013-03-21 22:26:17