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求助:碳化硅用CF4+10%O2刻蚀的话,工艺参数如何控制啊?急!
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| 那位大侠知道碳化硅用CF4+10%O2刻蚀的话,工艺参数如何控制啊?谢谢了,急! |
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Jason
木虫 (著名写手)
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2楼2013-03-21 22:26:17














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