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244419281

木虫 (正式写手)

[求助] 请问各位虫友，用CVD沉积的氮化硅是β型的还是α型呢？

请问各位虫友，用CVD沉积的氮化硅是β型的还是α型呢？
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1楼 2013-03-12 20:49:58
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wpj888666

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

这要看你本身所用的氮化硅是什么晶型的，CVD沉积应该是不改变晶型的。
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2楼2013-03-18 13:43:44
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