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evans0628

新虫 (初入文坛)

[求助] 用SEM能够分辨Si片上的SiO2薄膜吗?若能,如何分辨?是根据衬度吗?谢谢各位了!

求助了
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果是剖面肯定可以,如果是微细的SiO薄膜图形也可以从顶部分辨。如果是大面积SiO薄膜,就很难说了。
2楼2013-03-10 13:56:37
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antony19871

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
感觉根据衬度的话 不是太能令人信服。
实在不成HR-TEM吧。。。根据晶格参数判断。。
Standard devision
3楼2013-03-10 14:01:41
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