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fpsm

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 安捷伦5973调谐故障

自打开过年来,用的那台6890-5973就没消停过,用的CI源,最近调谐,正离子模式下可以调谐通过,就是离子信号比以前低多了,以前总有50万多,最近3个离子(41,266.9,598.9),只有41还能上个几十万,后面两个连10万都不到,EM电压也才1300不到。负离子模式下调谐就怎么都通不过。之前开机后抽真空也抽了一天一夜。又打开清洗了一遍离子源,再抽了一天一夜,还是这样。简直欲哭无泪啊。。。有没有老师知道是怎么回事,指点下啊。不胜感谢。
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遗世而独立,羽化而登仙。
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home1981

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
fpsm: 金币+5, 有帮助 2013-04-19 15:52:57
注意比较一下前后的调谐报告中各离子的响应强度变化

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2013-04-04 07:22:50
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bourne47

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
fpsm: 金币+5 2013-04-19 15:53:04
CI源跟EI源相比,它的检漏不方便,每次检漏就要调谐,在调谐的时候才能看到是否漏气;再有就是建议检查一下调谐液,看看是否已经干了;要是还不行,替换备用文件里面的调谐文件后再进行调谐,再不行就打客服找工程师喽。
3楼2013-04-08 11:18:33
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wpc945

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
fpsm: 金币+5 2013-04-19 15:53:14
?????????????,??????h
1.???ion source
2.tune EI?{?? (????Air water??FC43???????????????)
3.???{PCI (Air water, CH4???????)
4.???????{NCI

??????????
4楼2013-04-19 15:42:41
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