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温差对薄膜结合力的影响到底有多大? 已有4人参与
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| 最近制备金属镀金属薄膜,由于制备的比较大(800*1000mm),出来边上,大部分地方都镀上了。当在基体加入和后期的退火处理中,发现局部温度很不均匀,高的到了630度左右,而低的地方菜420度左右。薄膜脱落很厉害,这事温差导致的热应力引起的吗?温度对薄膜结合力的影响到底有多大?有这方面的理论研究吗?好像说温度影响大的文章多,但没见到说温差影响的。 |
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