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liuna-101600

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】关于PECVD

请问PECVD发展现状如何？发展前景是怎样的？主要运用那些方法？

[ Last edited by zt970831 on 2008-1-23 at 19:53 ]
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1楼 2007-08-13 17:28:29
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lawyer1793polo

银虫 (著名写手)
★
zt970831(金币+1,VIP+0):谢谢您的答复；如能提供更多的资料就更好了；欢迎常来物理版：）
半导体行业用的好像很多
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2楼2008-01-23 21:47:38
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wulixi21

金虫 (正式写手)
★
musi429(金币+1,VIP+0):多谢交流~~
等离子体增强化学气相沉积技术,等离子体增强化学气相沉积技术是材料表面改性和薄膜沉积的基本方法之一。由于处理过程为高真空环境，沉积薄膜的质量高、含有杂质少、性能好。应用前景广阔，如薄暮、印刷等。。
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3楼2008-02-01 13:48:23
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jndq

金虫 (正式写手)
这个东西还是google一下吧，可以得到较全面的讯息
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4楼2008-02-01 13:51:13
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