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问问ni

新虫 (小有名气)

[求助] 中间层材料钛的分析

各位,我有种材料,就是在硅片上沉积了一层钛,然后为了避免钛被氧化,又在钛表面沉积了约20nm的镍,请问,我现在想分析中间的钛是否被氧化,该做什么分析啊!注意,钛在空气中很容易被氧化。我去问了XPS的老师,他说外面那层金属超过了5nm就分析不了里面那层。
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