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中间层材料钛的分析
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| 各位，我有种材料，就是在硅片上沉积了一层钛，然后为了避免钛被氧化，又在钛表面沉积了约20nm的镍，请问，我现在想分析中间的钛是否被氧化，该做什么分析啊！注意，钛在空气中很容易被氧化。我去问了XPS的老师，他说外面那层金属超过了5nm就分析不了里面那层。 |
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