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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问哪里可以加工MEMS
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woniu0524

金虫 (正式写手)

[求助] 请问哪里可以加工MEMS

请问国内有哪里可以加工MEMS，本人欲加工下图所示的MEMS
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1楼 2013-01-14 10:31:20
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woniu0524

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-14 15:06:32
如果想自己动手的话，去苏州纳米所。
如果想找代工的话，联系我就好。
另外，你的图呢？？？

我是不想自己做了，自己做要写学很多东西，花时间，呵呵
能不能麻烦你先在网上搜索下这篇文献（Measuring Thermal and
Thermoelectric Properties of One-Dimensional Nanostructures
Using a Microfabricated Device （Li Shi））？看看试验部分，我是想做这种器件，你看看你能不能做？另外如果能做的话，告诉下我大概价位是多少
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3楼2013-01-15 10:57:10
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果想自己动手的话，去苏州纳米所。
如果想找代工的话，联系我就好。
另外，你的图呢？？？
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2楼2013-01-14 15:06:32
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yuxi-seu

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
流片的话，南京55所可以。但是我不知道你是想尝试还是什么，如果只是想用到某种设备或者技术，同意二楼，听说纳米所的设备很全，我有不少同学去过那边做测试
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做个有心人，做个有毅力的人，做个乐观大度的人
4楼2013-01-15 11:46:46
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woniu0524

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yuxi-seu at 2013-01-15 11:46:46
流片的话，南京55所可以。但是我不知道你是想尝试还是什么，如果只是想用到某种设备或者技术，同意二楼，听说纳米所的设备很全，我有不少同学去过那边做测试

我是想测量单根纳米线的热导率，我没有见到国内有人测过，只是看到文献上有报道过。就是做个MEMS，搭上单根纳米线，进行测量。
我本身不是学微电子方面的，对做流片是一窍不通，如果现在去学习做流片，肯定是要很多时间，所以我想找人代做。
不知道你所说的南京55所，做一个比较复杂的流片怎么收费
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5楼2013-01-15 13:47:01
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