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Miracle922铜虫 (正式写手)
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[求助]
哪个课题组（或公司）做液态三氯氢硅提纯多晶硅
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想问下，论坛里有没有课题组做过三氯氢硅还原成多晶硅？我也初步了解下，改良西门子法制会首先制备出三氯氢硅，然后通过氢气还原用CVD制备高纯度的多晶硅。 我的情况会更省事，已经有了液态的三氯氢硅，而且对得到的多晶硅纯度要求不高，远远不需要达到太阳能级别的纯度，提纯的量可以从克级到公斤级都行。如果哪位虫子熟悉这一块能提高一些帮助或者信息，非常感谢！我想如果有课题组做CVD或具有氢气炉可能更容易解决这个问题。 |
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2楼2013-01-15 17:46:30