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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 关于非重掺的n型Si的欧姆接触
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meixinyidian

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 关于非重掺的n型Si的欧姆接触

非重掺杂的n型硅容易和什么金属形成欧姆接触呢？实验室买的硅片都是非重掺杂的，做了一次铝的，不是欧姆接触。
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1楼 2012-12-25 19:39:29
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reacholi

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by diamondfire at 2012-12-26 14:23:09
做正电极还是背电极?
背电极可以考虑直接用锉刀锉几下,然后蒸发铝.(锉刀主要是引入缺陷）
正电极主要可以考虑注入或者合金化。

那蒸发铝沉积后，还需不要焙烧呢
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5楼2016-09-03 11:18:07
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diamondfire

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
meixinyidian: 金币+5, ★★★很有帮助, 是背电极啊 2012-12-26 15:52:38
华丽的飘过: 金币+3, 谢谢专家 2012-12-27 02:51:08
做正电极还是背电极?
背电极可以考虑直接用锉刀锉几下,然后蒸发铝.(锉刀主要是引入缺陷）
正电极主要可以考虑注入或者合金化。
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再烦，也别忘微笑；再急，也要注意语气；再苦，也别忘坚持；再累，也要爱自己。低调做人，你会一次比一次稳健；高调做事，你会一次比一次优秀。
2楼2012-12-26 14:23:09
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meixinyidian

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by diamondfire at 2012-12-26 14:23:09
做正电极还是背电极?
背电极可以考虑直接用锉刀锉几下,然后蒸发铝.(锉刀主要是引入缺陷）
正电极主要可以考虑注入或者合金化。

是背电极啊，用锉刀锉会不会太粗糙了啊
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3楼2012-12-28 10:49:10
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diamondfire

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by meixinyidian at 2012-12-28 10:49:10
是背电极啊，用锉刀锉会不会太粗糙了啊...

电极粗糙对实验结果没有影响。如果你给企业做,那就去做离子注入吧.如果你在学校里面,做研究的话，就放心锉吧。不用锉得非常用力，留下一些痕迹就可以了。镀背电极面积越大越好。
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再烦，也别忘微笑；再急，也要注意语气；再苦，也别忘坚持；再累，也要爱自己。低调做人，你会一次比一次稳健；高调做事，你会一次比一次优秀。
4楼2012-12-28 13:41:33
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