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chc33

新虫 (初入文坛)

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[求助] 顶部减反射胶

有没有使用安智的aquatar顶部减反射胶的？我用匀光刻胶的方法去涂布此胶，发现涂完后的基片上面全是麻点。我匀胶采用静止滴胶然后利用速度3000转，加速度1000转，时间30s。望有使用过此胶的指导一下。谢谢

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1楼 2012-12-20 15:20:31

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yswyx

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专业: 半导体微纳机电器件与系统
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没用过，是不是片子脏啊？

2楼2012-12-20 17:05:22

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