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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 有没有CVD做出过硅线/二氧化硅线的朋友们帮忙看一下 急求
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151304224

新虫 (初入文坛)

[求助] 有没有CVD做出过硅线/二氧化硅线的朋友们帮忙看一下 急求

本人用CVD法制备石墨烯
当基底选用表面有300nm厚SiO2的硅片时
总容易长出二氧化硅线来，
求指教这是什么情况 有朋友遇到过类似的么？
怎么才能避免这种状况呢
温度是1000多度 气源有甲烷氢气氩气
没有金属催化剂 百思不得其解啊
急求大家帮助

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1楼 2012-12-18 15:49:57
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151304224

新虫 (初入文坛)
大侠们来看看呀
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2楼2012-12-19 09:49:18
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