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moonwy金虫 (初入文坛)
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刻蚀问题
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| 请教大家一个bosch工艺的问题，用Cr或者Al做掩蔽，干法刻蚀（ICP）刻出来的结果总是锥形，横向刻蚀非常严重。而用光刻胶做掩蔽，刻出来效果不错。（参数：刻蚀 SF6 700w 7s 钝化 C4F8 600w 7s ；仪器：牛津仪器 Plasmalab system 100） |
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2楼2012-12-17 17:42:41
yswyx 
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3楼2012-12-18 15:05:29