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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 刻蚀问题
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moonwy

金虫 (初入文坛)

[求助] 刻蚀问题

请教大家一个bosch工艺的问题，用Cr或者Al做掩蔽，干法刻蚀（ICP）刻出来的结果总是锥形，横向刻蚀非常严重。而用光刻胶做掩蔽，刻出来效果不错。（参数：刻蚀 SF6 700w 7s 钝化 C4F8 600w 7s ；仪器：牛津仪器 Plasmalab system 100）
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1楼 2012-12-17 16:56:56
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真空涨落

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
sf6的陡直度不好，这个还和各个流量比例有关，还有上下极板电压，功率有关

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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物含妙理总堪寻
2楼2012-12-17 17:42:41
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
moonwy: 金币+1 2012-12-18 22:45:27
你测过金属掩膜的选择比吗？
光刻胶侧向也很厉害的，你也可以测一下。
我觉得是你没有把金属掩膜的条件优化，比如钝化的比例增加。
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3楼2012-12-18 15:05:29
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