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sekfib

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[求助] 浓硝酸加氢氟酸加醋酸能溶解铝吗？

HNO3：HF：HAc=15:1:4，这种配方能溶解Si上沉积的Al吗？
试了一下好像会产生另外一层东西，是否硝酸太浓而钝化了，形成了氧化铝膜~~

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1楼 2012-12-15 21:36:35

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wangjilin

木虫 (著名写手)

龙情

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专业: 结构陶瓷

你这样会不会把硅也部分溶掉？你为什么要用强氧化性的硝酸啊？

烟花易冷

2楼2012-12-16 13:49:11

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sekfib

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专业: 半导体材料

引用回帖:

2楼: Originally posted by wangjilin at 2012-12-16 13:49:11
你这样会不会把硅也部分溶掉？你为什么要用强氧化性的硝酸啊？

嗯，正是想把部分硅一起溶掉的，就偷了个懒，看来还得先用盐酸除了铝再用上面的配方去除部分硅~~

3楼2012-12-16 19:36:48

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