应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 问一个Cr作模板深刻蚀SiO2和Si的问题
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
51/1返回列表
查看: 2661  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

flywalker

新虫 (初入文坛)

[交流] 问一个Cr作模板深刻蚀SiO2和Si的问题 已有3人参与

想用Cr做模板深刻蚀SiO2和Si，同时Cr作为最终器件的一部分。刻蚀SiO2用的是C4F8+H2, 刻蚀Si用的是SF6+O2。现在的问题是，刻蚀完后，感觉Cr的质地很脆，用一个针尖去碰的话很容易破。问一下有经验的朋友，是不是那一步刻蚀让Cr发生了变性？谢谢！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

yswyx关于腐蚀/刻蚀的回复 实验们

» 猜你喜欢
1楼 2012-12-14 09:28:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

flywalker

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-14 15:10:15
Cr变薄了嘛，你可以测一下厚度。
SiO和Si的深度分别有多深呢？干嘛不直接用光刻胶做掩膜？

谢谢你的回复！
我的样品是SiO2/Si基底，上面有一层功能材料，再上面是Cr的图样。用光刻胶做掩模的话就需要套刻。我想简化工艺，所以想到用Cr直接作为模板。
SiO2的厚度是1 um, Si的刻蚀深度是20 um。 我用AFM扫过，Cr是变薄了，而且变薄主要发生在刻蚀SiO2的过程中。但减薄后的Cr，与相似厚度的刚刚电子束沉积的Cr相比，仍然显得很脆、易破。
赞一下 回复此楼
3楼2012-12-15 03:33:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
Cr变薄了嘛，你可以测一下厚度。
SiO和Si的深度分别有多深呢？干嘛不直接用光刻胶做掩膜？
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

flywalker
2楼2012-12-14 15:10:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by flywalker at 2012-12-15 03:33:58
谢谢你的回复！
我的样品是SiO2/Si基底，上面有一层功能材料，再上面是Cr的图样。用光刻胶做掩模的话就需要套刻。我想简化工艺，所以想到用Cr直接作为模板。
SiO2的厚度是1 um, Si的刻蚀深度是20 um。 我用AFM扫 ...

那你的Cr是怎么图形化的？难道不是光刻？？

你在做ICP的时候，温度还是挺高的，功能材料层和Cr层，相当于做了一次热处理，或者说退火也可以。热失配的情况下，来回退火一翻，可能积累了大量应力。这可能是脆和易破的原因。
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

flywalker
4楼2012-12-15 23:11:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

flywalker

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-15 23:11:24
那你的Cr是怎么图形化的？难道不是光刻？？

你在做ICP的时候，温度还是挺高的，功能材料层和Cr层，相当于做了一次热处理，或者说退火也可以。热失配的情况下，来回退火一翻，可能积累了大量应力。这可能是脆和易 ...

再次感谢你的回复！

Cr是光刻后再沉积，如果想用光刻胶保护Cr的话，就需要设计一个反板或者用负胶再光刻一次。

是的，ICP的时候，温度是比较高的。之前测试过光刻胶做模板，光刻胶略有碳化。但我的材料在ICP之前，已经在300度下热处理过了，我想ICP的温度不会超过这个温度。

我现在猜测是ICP时气体与Cr可能有某种反应而使其变质变脆，比如使其grain size可能发生变化。不知道在沉积Cr的时候再加上一层Au能否起到保护Cr的作用？
赞一下 回复此楼
5楼2012-12-19 10:34:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 334分 一志愿武理 材料求调剂 +11 李李不服输 2026-03-26 11/550 2026-03-30 09:36 by longlotian
[考研] 求调剂，一志愿 南京航空航天大学大学 ，080500材料科学与工程学硕 +5 @taotao 2026-03-26 6/300 2026-03-30 09:10 by 123xxb
[考研] 化学工程085602 305分求调剂 +23 RichLi_ 2026-03-25 23/1150 2026-03-30 09:01 by Awei099
[考研] 327求调剂 +4 小卡不卡. 2026-03-29 4/200 2026-03-30 06:15 by wxiongid
[考研] 281求调剂 +4 亚克西good 2026-03-26 6/300 2026-03-29 21:06 by 啊李999
[考博] 26申博自荐 +6 whh869393 2026-03-24 6/300 2026-03-29 21:05 by nxgogo
[考研] 材料科学与工程求调剂 +6 深V宿舍吧 2026-03-29 6/300 2026-03-29 20:51 by 唐沐儿
[考研] 356求调剂 +4 gysy?s?a 2026-03-28 4/200 2026-03-29 10:32 by 唐沐儿
[考研] 289求调剂 +13 新时代材料 2026-03-27 13/650 2026-03-29 01:16 by 544594351
[考研] 0703化学调剂，求导师收 +9 天天好运来上岸� 2026-03-24 10/500 2026-03-28 22:17 by chemzp
[考研] 332求调剂 +4 @MZB382400 2026-03-28 4/200 2026-03-28 21:02 by 唐沐儿
[考研] 085602 化工专硕 338分 求调剂 +12 路痴小琪 2026-03-27 12/600 2026-03-28 15:41 by L135790
[考研] 299求调剂 +7 嗯嗯嗯嗯2 2026-03-27 7/350 2026-03-28 13:09 by 唐沐儿
[考研] 291求调剂 +6 HanBeiNingZC 2026-03-24 6/300 2026-03-28 07:55 by baoball
[考研] 295求调剂 +5 1428151015 2026-03-27 6/300 2026-03-28 04:04 by fmesaito
[考研] 一志愿 西北大学 总分282 英语一62 求调剂 +7 18419759900 2026-03-25 8/400 2026-03-27 16:38 by 18419759900
[考研] 材料求调剂 +5 .m.. 2026-03-25 5/250 2026-03-27 11:08 by 不吃魚的貓
[考研] 求调剂323材料与化工 +7 1124361 2026-03-24 7/350 2026-03-27 10:22 by wangjy2002
[考研] 求调剂 +6 林之夕 2026-03-24 6/300 2026-03-27 08:38 by hypershenger
[考研] 一志愿南航材料专317分求调剂 +5 炸呀炸呀炸薯条 2026-03-23 5/250 2026-03-24 16:52 by 星空星月
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭