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yucc

铁杆木虫 (正式写手)

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[资源] CasaXPS 专业XPS、AES、SIMS处理软件的2007最新版

最近看到不少朋友为XPS的处理在木虫的几个学术区求助，这里给出的是：

CasaXPS 2007最新版，内含帮助文件。

可以处理XPS、AES、SIMS以及XPS/AES成像等，作为学习XPS/AES/SIMS的基础知识和数据处理是一个不错的教程，许多内容都是结合实际的，很实用。

有兴趣的朋友可以到：

http://www.casaxps.com/release/release2313/CasaXPS.zip

下载

软件的一些功能可能需要授权才能使用。

[ Last edited by linweiguo0 on 2007-7-18 at 17:36 ]

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1楼 2007-07-18 16:21:12

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yucc

铁杆木虫 (正式写手)

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★ ★ ★
rabbit7708(金币+3):多谢继续关注本帖！：）辛苦了！

引用回帖:

Originally posted by ljwfzu at 2007-7-19 11:25 AM:
这个不需要安装吗？还有就是这个软件只能打开vms格式的文件吗？asc的不能打开？

这个软件除了授权信息要写入系统（估计是注册表）外，基本上是纯绿色的，不需要安装。vms格式文件没有问题。估计你说的asc是ASCII码的文件，不是一种基本格式，只是方便转换罢了。支持的格式如下：
File Conversion Filters

PHI MultiPak binary-files (Select the .spe, .ang, .pro binary files)

VG Eclipse binary-files

VG Avantage

Kratos Vision Datasets

Bristol IAC Dayta System Files

VGX900/Omicron (Ron Unwin)

SSI Data Files (Select the .mrs file)

XY Pairs

RBD ASCII files

Kratos DS800 Binary Files

Scienta IGOR .pxt files (Simply select the .pxt file via the Convert to VAMAS dialog window)

Specs SpecsLab I .exp files (Simply select the .exp file via the Convert to VAMAS dialog window)

Scienta DOS binary Files

SuperESCA Trieste

＝＝＝SIMS file format＝＝＝
ToF SIMS File Formats

The following files can be converted via the “Convert to VAMAS File” Dialog Window.

PHI Binary files with .sur extensions

PHI ASCII (exported from .sur files): Change the file extension to .pak

PHI TRIFT ASCII (exported from TDC files): Change the file extension to .trf

Kore Technology ASCII files: Change the ASCII file extension to .prn

CMS LIMA/SIMS files: Select the .LIF binary file.

ION ToF ASCII spectral files: Change the file extension to .ion

Quadrupole SIMS Formats

RBD SIMS files are converted in exactly the same way as the XPS/AES files. Simply select the .txt ASCII files or use the clipboard copy/paste mechanism.

Hiden ASCII: Select the .csv file exported by the Hiden system

Millbrooks (Ron Unwin) SIMS files: Move to the directory containing the data files with the numeric file extensions and enter a new name (in the filename field on the File Dialog window) followed by the extension .sims. See VGX900 for more details about reading XPS/AES versions of these files.

Dynamic SIMS Formats

RBD dynamic SIMS files are either converted using the .txt ASCII files exported from the RBD software or transferred through the clipboard using the copy/paste mechanism.

Cameca ASCII: Depth profiles from the Cameca system are exported in an ASCII format and are converted through CasaXPS by selecting the .dp_ascii files. CasaXPS assumes the ASCII file contains the raw profile information.

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6楼2007-07-19 15:21:54

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yucc

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aijunhao2002230(金币+3,VIP+0):多谢交流！：）

深度剖面分析需要进行专门XPS实验，一般用Ar离子刻蚀或溅射，刻蚀和溅射深度与Ar离子强度，材料本身特性等多种因素有关，需要专门的实验来确定刻蚀深度。在这种基础上，一般在刻蚀的同时进行确定元素的XPS或AES扫描，通过定量分析，就可以获得不同元素的原子浓度随深度的变化。建议先参考一些XPS、AES方面的书可以少走弯路。我记得木虫论坛里有一本英文的介绍XPS/AES的书，可以搜索查找一下。

另外，一般现有比较新的XPS仪器自带的软件都具有这方面的功能，具体操作上尽可能用仪器自带软件，可以省很多时间，也可不用学习自己不明白的一些地方，直接关注获得的结果。因为中间过程确实比较繁杂，如果不是很清楚，每一步处理不好都可能对最终结果带来较大的偏差。

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10楼2007-07-24 22:28:42

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