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眼睛猫丁

铁虫 (初入文坛)


[交流] BFO薄膜PLD制备怎样的工艺参数减少其漏电流呢?

大家都是用怎样的工艺参数呢,比如沉积氧压,沉积温度,退火氧压等等
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ltyz

木虫 (正式写手)


引用回帖:
9楼: Originally posted by panzerwlf at 2012-12-27 23:22:11
就是在制备PLD靶材的时候不要让Bi:Fe:O是1:1:3,而是1:1+delta:3,delta一般是0.1左右...

可是为了补偿Bi的挥发,不应该是Bi过量吗?
10楼2012-12-28 09:54:44
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wu1008

金虫 (著名写手)



眼睛猫丁(金币+1): 谢谢参与
多看一些文献,自己摸索一下

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2012-12-01 16:20:51
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0610240

木虫 (正式写手)



眼睛猫丁(金币+1): 谢谢参与
有的条件就是重复不出来的。没办法,有人根据现象指导最好。
3楼2012-12-04 00:56:07
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眼睛猫丁(金币+1): 谢谢参与
多看文献,多做实验,总结吧!
5楼2012-12-04 21:34:58
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