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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » BFO薄膜PLD制备怎样的工艺参数减少其漏电流呢？
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眼睛猫丁

铁虫 (初入文坛)

[交流] BFO薄膜PLD制备怎样的工艺参数减少其漏电流呢？

大家都是用怎样的工艺参数呢，比如沉积氧压，沉积温度，退火氧压等等
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1楼 2012-11-30 23:55:28
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ltyz

木虫 (正式写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by panzerwlf at 2012-12-27 23:22:11
就是在制备PLD靶材的时候不要让Bi：Fe：O是1:1:3，而是1:1+delta：3，delta一般是0.1左右...

可是为了补偿Bi的挥发，不应该是Bi过量吗？
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10楼2012-12-28 09:54:44
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wu1008

金虫 (著名写手)
★
眼睛猫丁(金币+1): 谢谢参与
多看一些文献，自己摸索一下

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2012-12-01 16:20:51
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0610240

木虫 (正式写手)
★
眼睛猫丁(金币+1): 谢谢参与
有的条件就是重复不出来的。没办法，有人根据现象指导最好。
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3楼2012-12-04 00:56:07
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蒋青松

荣誉版主 (著名写手)
★
眼睛猫丁(金币+1): 谢谢参与
多看文献，多做实验，总结吧！
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5楼2012-12-04 21:34:58
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