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顽皮豹

银虫 (小有名气)

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[交流] TCO薄膜密度测量已有5人参与

向大家请教一下太阳电池用的TCO薄膜（例如ITO薄膜）厚度在100nm左右，它的密度怎么测量呢？XRR法可行不？

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天行健君子以自强不息，地势坤君子以厚德载物

1楼2012-11-28 10:17:04

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

jiangpengju

新虫 (小有名气)

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引用回帖:

3楼: Originally posted by RisaXu at 2012-12-04 16:42:22
ITO薄膜的密度可以通过XRR测试得到，但准确度不是很高；我也想通过XRR方法测试半导体薄膜，但是一直找不到合适的地方测试，主要是因为测试XRR的人很少，有些地方只会测试但不会分析，我现在就是这种情况，如果能够找 ...

请问大侠现在学会分析了没？求指教