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五氧化二钒掺杂有机物的光刻
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welljay
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专业: 计算机软件
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]
五氧化二钒掺杂有机物的光刻
宋体
在光刻时发现,有电极的地方没有分散上纳米线,而成作一团纳米线的地方,几乎刻不上电极。想问下,这是分散的问题,还是这种物质就不好光刻!谢谢
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1楼
2012-11-28 09:29:05
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注册: 2007-10-30
性别: GG
专业: 半导体微纳机电器件与系统
管辖:
微米和纳米
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
你是先分散的纳米线,然后光刻做电极?
电极是什么材料?用什么方法做上去的?
衬底什么材料?
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2楼
2012-11-28 15:21:04
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