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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求解：Peva-600E能否用来蒸钨？或者大家知道什么手段能用来蒸钨金属么？
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IOPSF05

铜虫 (小有名气)

[求助] 求解：Peva-600E能否用来蒸钨？或者大家知道什么手段能用来蒸钨金属么？

如题。钨的熔沸点很高。不知道Peva-600E电子束蒸发能否蒸镀钨。
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1楼 2012-11-27 10:29:05
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
IOPSF05: 金币+1, ★★★很有帮助, 哦！谢谢啊！我们这里的磁控溅射不是公共平台的，做起来不如电子束蒸发方便。 2012-11-27 18:57:43
钨一般都是溅射的。钨都是用来做钨舟，作为蒸发源容器的。
找个可以溅射的地方吧，找不到的话，短信我。
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2楼2012-11-27 12:22:21
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无聊的luffy

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

一般都溅射机做的，要么改用石墨坩埚 电子束蒸发倒是可行吧
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3楼2013-11-15 12:56:39
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