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汕头大学海洋科学接受调剂
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60600803

新虫 (初入文坛)

[求助] TC4表面渗Cu

我正在做TC4双辉等离子渗铜,可能是由于炉子使用年代久远,我每次渗都含大量杂质元素,然后我在渗的时候加了个Fe罩子,结果渗的时候都是铁,铜太少,然后用纯钛的套子,还是有很多杂质,铜含量也不高,我看别人有的做的,就能获得高含量的铜。请问我该最没改进呢?哪位大侠帮帮忙,还有请问怎么有效清理炉子啊?我实在不知道怎么办!拜托大家指导一下!
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版主 (职业作家)

小风子


【答案】应助回帖

楼主MM的问题让人费解啊,怎么会出现大量杂质?是什么杂质?按等离子渗镀工艺来看,炉体内抽真空再通高纯氩气后存在大量杂质的可能性不大,而辉光放电轰击试件去除氧化膜后,你再通“源”极的纯Cu板时,Cu会被溅射到下端的试件表面。你的试样是怎么放置的?外罩的套子如何放置的?未连接外部电源的罩子为何会溅射出原子并渗入试件?请楼主提供较详细的信息,并参照相关文献操作。。
2楼2012-11-30 16:25:15
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