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汕头大学海洋科学接受调剂
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60600803

新虫 (初入文坛)

[求助] TC4表面渗Cu

我正在做TC4双辉等离子渗铜，可能是由于炉子使用年代久远，我每次渗都含大量杂质元素，然后我在渗的时候加了个Fe罩子，结果渗的时候都是铁，铜太少，然后用纯钛的套子，还是有很多杂质，铜含量也不高，我看别人有的做的，就能获得高含量的铜。请问我该最没改进呢？哪位大侠帮帮忙，还有请问怎么有效清理炉子啊？我实在不知道怎么办！拜托大家指导一下！
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1楼 2012-11-26 22:09:39
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314977903

版主 (职业作家)

小风子

【答案】应助回帖

楼主MM的问题让人费解啊，怎么会出现大量杂质？是什么杂质？按等离子渗镀工艺来看，炉体内抽真空再通高纯氩气后存在大量杂质的可能性不大，而辉光放电轰击试件去除氧化膜后，你再通“源”极的纯Cu板时，Cu会被溅射到下端的试件表面。你的试样是怎么放置的？外罩的套子如何放置的？未连接外部电源的罩子为何会溅射出原子并渗入试件？请楼主提供较详细的信息，并参照相关文献操作。。
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2楼2012-11-30 16:25:15
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