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helloyc

铁虫 (小有名气)

[交流] spin coating 工艺对基体的要求

最近用spin coating 发在钛板上镀羟基磷灰石
羟基磷灰石已经配成悬浮液
钛板用1200#砂纸打磨后 在匀胶机上开始镀膜
结果怎么镀 都不能得到均匀的膜

有的地方根本就镀不上去
不知道是不是基板没有打磨好
是不是需要用HF刻蚀一下才镀的上去啊?

请大家给支招了 谢谢了!
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lchyang

木虫 (小有名气)

可以测量钛板的接触角,若是接触角太大,可能就上不去了
4楼2007-07-20 11:06:55
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pigfly

木虫 (著名写手)

匀胶机我们是用来显微镜制样的
2楼2007-07-07 19:20:08
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yhxiao

银虫 (初入文坛)

应该是钛板没洗干净,需要去除表面的油脂;还和匀胶机转数有关
3楼2007-07-16 11:26:56
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taojunchao

金虫 (小有名气)

其实spin-coating 对基板的要求很高,一方面基板和母液应该浸润的;另一方面,基板本身的性质有关,特别是表面。建议楼主继续抛光,表面和镜子一样时开始spin-coating
5楼2007-07-20 13:23:05
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