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spin coating 工艺对基体的要求
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最近用spin coating 发在钛板上镀羟基磷灰石 羟基磷灰石已经配成悬浮液 钛板用1200#砂纸打磨后 在匀胶机上开始镀膜 结果怎么镀 都不能得到均匀的膜 有的地方根本就镀不上去 不知道是不是基板没有打磨好 是不是需要用HF刻蚀一下才镀的上去啊？ 请大家给支招了 谢谢了！ |
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2楼2007-07-07 19:20:08
3楼2007-07-16 11:26:56
taojunchao
金虫 (小有名气)
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- 专业: 微电子与固体电子学
5楼2007-07-20 13:23:05
50