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ruby528

金虫 (小有名气)

[求助] 20nm厚的介质膜,怎么用XRD做测试,西安哪里有啊?

如题,我的样品是在硅衬底上长的一层约20nm厚的介质膜,想用XRD分析结晶情况,不知道哪里可以做?请各位大侠不吝赐教啊。。小女子不胜感激。。。
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Fan Xiaojiao
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微乱球衣

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
ruby528: 金币+1, ★★★很有帮助 2012-11-20 11:43:57
太薄了,普通XRD只能分析取向。
2楼2012-11-20 09:10:58
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fengyunli

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
ruby528: 金币+1, ★★★很有帮助 2012-11-20 11:44:09
很薄,可以试试小角XRD,掠入射。samll angle XRD.
3楼2012-11-20 11:42:32
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ruby528

金虫 (小有名气)

我看有人用小角度掠射的。。。就不知道哪里有这种设备可以测。。。
Fan Xiaojiao
4楼2012-11-20 11:42:44
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FePt

木虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by ruby528 at 2012-11-20 11:42:44
我看有人用小角度掠射的。。。就不知道哪里有这种设备可以测。。。

曾经用小角XRD确定过膜厚

要纳米薄膜看结晶最好还是电镜吧
5楼2012-11-20 13:16:25
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微乱球衣

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖


ruby528: 金币+1, 有帮助, 谢谢参与 2012-11-22 19:34:47
听说高能所有同步辐射,可以做小角,但是能量挺低,上海在建大型同步辐射。
6楼2012-11-20 22:00:34
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ruby528

金虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by FePt at 2012-11-20 13:16:25
曾经用小角XRD确定过膜厚

要纳米薄膜看结晶最好还是电镜吧...

电镜太贵了,而且制样不容易。。。哎
Fan Xiaojiao
7楼2012-11-22 19:33:47
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