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杨仁立

金虫 (小有名气)

[求助] CVD产量低

各位虫友:我很傻好奇为什么别的文献里边用化学气相沉积(CVD)做出来的纳米材料的产量那么大,而我们课题组用CVD做出来的产量量就那么少,就硅片上那么薄薄的一层,请问用硅片沉积的厚度你们大约是多少呢?难道用来做各种测试的样品都是从硅片上刮下来的还是“衬底”边上的粉末??
     不是很懂,问老师,老师说CVD 已经产业化了,我也不知道怎么个产业化法,请大家给予介绍,甚感激!!
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人只有受到打击,才会成长!!
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fengyunli

木虫 (正式写手)

你确定人家用的是CVD不是MOCVD?
4楼2012-11-20 14:18:21
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fengyunli

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
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杨仁立: 金币+2 2012-11-20 18:06:40
引用回帖:
7楼: Originally posted by 杨仁立 at 2012-11-20 16:49:39
是不是MOCVD的衬底相当大呀???请用应助贴,给您金币给不了,呵呵...

是的,MOCVD可以一下子长很多,工业上批量生产的,他们做LED的很多用MOCVD长GaN薄膜的
8楼2012-11-20 17:57:39
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