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220chengeng

木虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
Carena: 金币+1, 感谢应助 2012-11-19 13:56:04
kakarote: 金币+20, 翻译EPI+1, ★★★★★最佳答案, 谢谢，我已经完全采纳了你的意见。 2012-11-19 21:43:57

这是由于随着刻蚀过程的进行，等离子体放电产生的荷能离子在腔室内不断累积，并对样品表面产生轰击作用。刻蚀时间越长，累积电荷越多，对样品造成的污染越严重。
The reason is that during the etching process, charge energy ions created from plasma discharging accumulate in the cavity and bombard the surface of the specimen. Accordingly, the longer the etching time, the more the accumulated charges, and the heavier the contamination caused to the specimen.

刻蚀时间越长前面最好加上accordingly，英语里面最好要用一些标志性的词标识起承转合，要不读起来逻辑性不好，不连贯，至于术语的话您自己是专家，您自己取其所需吧。

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2楼2012-11-19 12:14:03

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