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yanch000

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[求助] 讨论“测试玻璃的表面形貌和成分分析”方法

我欲测试玻璃的表面形貌和成分分析，可以做SEM，STM，XRD，AFM等，不知道应该如何选择，请高人指点，能提供各种测试区别的出来亮相吧，搞测试的支支招吧，有奖，谢谢

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1楼 2007-07-04 13:04:19

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qiangdavidstm

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专业: 玻璃材料

申请专利号 200510033141.4 专利申请日 2005.01.31
名称表面形貌分析系统及其分析方法公开（公告）号 CN1815139
公开（公告）日 2006.08.09 颁证日
优先权  申请（专利权）鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
地址 518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号发明（设计）人黄全德
国际申请  国际公布
专利代理机构  代理人
摘要
本发明提供一种表面形貌分析系统，其包括一表面轮廓测量仪；一用于安置工件的承载平台；一X-Y-Z平台，用于调整承载平台的空间三维位置；以及一显微观测系统。其中，该显微观测系统包括一反射镜和一显微观测仪器，所述反射镜用于将工件表面形貌影射到显微观测仪器中。本发明还提供利用上述系统的表面形貌分析方法。本发明所提供的表面形貌分析系统通过在工件与显微观测仪器之间设置一反射镜，使显微观测仪器能准确定位待测量的表面区域，以实现表面形貌的定位测量。该表面形貌分析系统可广泛应用在导光板和透镜模仁等工件的表面形貌分析。
主权项
1.一种表面形貌分析系统，其包括：一用于安置工件的承载平台；一X-Y-Z平台，用于调整承载平台的空间三维位置；一显微观测系统，用于选定工件表面的待测区域；以及一表面轮廓测量仪，用于探测所述待测区域的表面形貌；其特征在于：所述显微观测系统包括一设在承载平台一侧且与其成一定倾角的反射镜和一显微观测仪器，所述反射镜用于形成工件表面形貌的镜像，所述显微观测仪器用来观测所述镜像。