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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 测试表征 » 钝化膜的表征
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zheng712003

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 钝化膜的表征

对再钝化膜进行分析，想分析出钝化膜厚度（应该就只有几个nm厚），如果用XPS的话对样品大小厚度好像有要求，我的样品比较大，如果用线切割切小那线切割中的油污什么的对于所需观察面的钝化膜感觉应该会有影响吧。另外椭圆偏振光谱仪好像能测量计算nm级膜厚。透射电镜是否能看到这层钝化膜呢？
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不可能是不可能的事！
1楼 2012-11-14 14:49:37
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mengyonghong

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
zpsun1982: 金币+2, 有帮助。 2013-03-17 23:13:38
可以用椭圆偏振仪（即，椭偏仪）进行表征，椭偏仪的膜厚表征范围一般可到0.1nm-10um。对于特别薄的膜层，分析时需要知道膜层的折射率。
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2楼2013-03-17 06:19:02
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zheng712003

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by mengyonghong at 2013-03-17 06:19:02
可以用椭圆偏振仪（即，椭偏仪）进行表征，椭偏仪的膜厚表征范围一般可到0.1nm-10um。对于特别薄的膜层，分析时需要知道膜层的折射率。

谢谢你的回复，椭圆偏振仪分析计算厚度是不是特别麻烦，我听同学说数据处理挺复杂的
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不可能是不可能的事！
3楼2013-03-17 13:56:51
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mengyonghong

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

如果膜系清楚，材料已知，分析很快。如果未知参数太多，就费时间。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2013-03-17 23:02:54
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