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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 有能做100nm条宽SiO2深刻蚀的吗？
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heated

木虫 (正式写手)

[求助] 有能做100nm条宽SiO2深刻蚀的吗？

刻蚀深度要求在200-500nm。谢谢
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yswyx关于腐蚀/刻蚀的回复

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1楼 2012-11-13 11:59:58
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yehanwin

木虫 (正式写手)
敢问楼主，这个问题你解决了吗？？？
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升级为木虫，纪念下！
6楼2013-11-26 23:21:27
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
能做倒是能做，刻蚀深度的要求意味着良率开始会比较低，要优化。
电子束胶和石英的选择比能达到多少，现在也是个问号。
你是要光刻和刻蚀都代工，还是你做光刻，别人做刻蚀？
如果要光刻一起做的话，那价格非常贵的，按面积算的。而且，都是要收一定的工艺开发的费用的。
如果确定要做的话，可以发短信给我。
赞一下 回复此楼
2楼2012-11-13 14:59:20
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heated

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-13 14:59:20
能做倒是能做，刻蚀深度的要求意味着良率开始会比较低，要优化。
电子束胶和石英的选择比能达到多少，现在也是个问号。
你是要光刻和刻蚀都代工，还是你做光刻，别人做刻蚀？
如果要光刻一起做的话，那价格非常贵 ...

谢谢回复。
我想光刻和干法刻蚀都代工。200nm周期，占空比1:1，光刻能否用激光全息曝光不用电子束光刻？电子束光刻按面积算，的确太贵了。

另外，刻蚀时只要线条不塌、不变形，侧蚀厉害一点也能接受。对于腐蚀后侧壁平整度要求也可降低。
赞一下 回复此楼
3楼2012-11-13 15:07:23
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semi-white

铁杆木虫 (著名写手)

Pay first, then get.

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
深度好控制一些，100nm宽光刻很难做吧
赞一下 回复此楼
4楼2012-11-13 15:47:47
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查看全部 8 个回答
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