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如何减少薄膜中的晶界
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如何减少薄膜中的晶界
如题,其实问题也可以这样表述,如何使容易结晶的材料生长为薄膜时,薄膜的晶粒尺寸变大,因为尺寸变大晶界就表少,薄膜电学性能会提高。求高手指点!金币不多,但求指点!
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什么材料,什么方法长的薄膜?
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一般来说退火可以使晶粒长大
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AZO,磁控溅射
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bazhuayuyu
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一般来说退火可以使晶粒长大
具体?能否提供文献
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bazhuayuyu
at 2012-11-09 18:12:33
一般来说退火可以使晶粒长大
具体?能否提供文献
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钦点木瓜
at 2012-11-10 08:59:22
具体?能否提供文献...
随便搜一下薄膜 退火,文章一堆
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2012-11-10 12:01:54
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yandong1014
at 2012-11-09 22:42:14
用应力长大
具体如何用应力生长?
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可以试试退火减少缺陷
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10楼
2012-11-25 19:10:45
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