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diamondfire

木虫 (正式写手)

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性别: GG
专业: 半导体电子器件

[交流] 请教,用溶胶凝胶法镀膜时，薄膜总是导通怎么回事？

本人最近在用溶胶凝胶法制备PZT薄膜Spin coating，用铂硅衬底，可是制得的薄膜用万用表测量薄膜表面，总是发现薄膜导通，请教大家这到底是什么原因引起的？如何克服？
困惑中，盼有经验的人来指点迷津。

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再烦，也别忘微笑；再急，也要注意语气；再苦，也别忘坚持；再累，也要爱自己。低调做人，你会一次比一次稳健；高调做事，你会一次比一次优秀。

1楼 2007-06-30 23:22:18

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diamondfire

木虫 (正式写手)

应助: 12 (小学生)
贵宾: 0.005
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虫号: 335809
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性别: GG
专业: 半导体电子器件

引用回帖:

Originally posted by robinsonguo at 2007-7-1 08:36 AM:
导通是否就是导电的意思？

可能薄膜太薄了,
万用表的针尖把薄膜穿透了，然后，铂衬底肯定是导通的。
可以量一下电阻和铂衬底电阻是否相等来验证。

[ Last edited by robinsonguo on 2007-7-1 at ...

对，就是薄膜导电。
不久前用金相显微镜看了一下薄膜的表面，并没有发现有薄膜被点触破裂的痕迹，不过倒是有不少的微孔，中心是黑色的（怀疑是碳化了），周围有渐变颜色的衍射花纹。请问会不会和这个有关系？

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5楼2007-07-01 16:44:26

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robinsonguo

木虫 (著名写手)

应助: 23 (小学生)
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性别: GG
专业: 无机非金属类光电信息与功

★
luo.henry(金币+1):谢谢积极参与！

导通是否就是导电的意思？

可能薄膜太薄了,
万用表的针尖把薄膜穿透了，然后，铂衬底肯定是导通的。
可以量一下电阻和铂衬底电阻是否相等来验证。

引用回帖:

Originally posted by diamondfire at 2007-6-30 11:22 PM:
本人最近在用溶胶凝胶法制备PZT薄膜Spin coating，用铂硅衬底，可是制得的薄膜用万用表测量薄膜表面，总是发现薄膜导通，请教大家这到底是什么原因引起的？如何克服？
困惑中，盼有经验的人来指点迷津。

[ Last edited by robinsonguo on 2007-7-1 at 08:37 ]

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2楼2007-07-01 08:36:10

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