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haochongzi

银虫 (正式写手)

[求助] XPS 测金属表面物质,碳含量过高,怎么回事呢

两种金属镍,A 一种肯定含有少量碳,B 一种应该是没有碳的。都做了钝化用微量氧气 氮气混合气体通过做的。
用XPS打,出来很多碳, 两种镍都有含有很多碳,A有 40%吧 B 有20%,还有氧(钝化所致吧)怎么解释呢,为什么出来这么多碳。XPS打10nm 以内吧。是因为样品污染吗? 做了两次都是这个结果。

XPS 测碳到底准确不准确呀。 文章着急回复,摆脱大牛给解释下吧!
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云淡风轻了~
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beyondanycal

银虫 (正式写手)

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cxqtitan: 金币+1, 感谢应助 2012-11-06 08:18:11
haochongzi: 金币+10, 谢谢! 2012-11-06 09:44:04
二楼说的对,xps中的碳很麻烦。
我之前做过非晶SiC材料的xps;样品的表面C、O污染是无法避免的(暴露空气中的氧气和二氧化碳),而且不知道刻蚀多长时间才能到达无污染的样品表面
天行牛
3楼2012-11-06 00:01:58
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pzypdl

主管区长 (文坛精英)

优秀区长优秀区长优秀区长优秀版主优秀版主优秀版主

【答案】应助回帖

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cxqtitan: 金币+1, 感谢应助 2012-11-06 08:18:04
haochongzi: 金币+10, 谢谢,那该怎么办呢! 2012-11-06 09:44:26
那应该是有污染的,没法避免的,要是用导电胶肯定有,要是压片一样会有,很难避免的。所以用这个测碳的话,是很麻烦,说服力应该不够的。
比未知更可怕的是预知,比变化更让人不安的是一成不变!http://emuch.net/bbs/myf.php?ffid=213
2楼2012-11-05 22:31:21
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zuozhijun5134

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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haochongzi: 金币+5 2012-11-07 11:19:25
在XPS测试时,如果不做表面处理,肯定会有吸附C和O峰的。含量的高低与样品的性质和放置的时间有关。XPS含量测试是半定量的
4楼2012-11-07 09:25:42
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chenghu

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

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haochongzi: 金币+5, 谢谢知道了,我打算做 argon 腐蚀 2012-11-07 11:20:15
测试过程中本来就有碳的,还经常用来做内标,所以要做碳,要做专门处理
5楼2012-11-07 09:55:12
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