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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 催化 » 表征 » 玻璃上涂层的二氧化钛膜厚如何测量
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likehoo11

铜虫 (小有名气)

[求助] 玻璃上涂层的二氧化钛膜厚如何测量

请教下：玻璃上用涂层烧结的方法制备的二氧化钛膜厚如何测量，厚度应该是微米量级，除了SEM断层扫描，台阶仪之外，有没有其他无损测量的方法？（待测物品不规则形状的生产线成品，物品尺寸直径20cm左右的锅盖状）
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1楼 2012-11-05 11:14:32
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jingaishan

金虫 (正式写手)
楼上说的很对，你再看看椭偏仪的原理。
用椭偏仪来测量比较适合你，但要保证膜的均匀性！
你说的还有一个问题，待测物品最好是平整的。
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3楼2013-01-15 23:47:31
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huanyingmofa

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
missu001: 金币+1, 谢谢回帖，欢迎交流 2012-11-07 16:34:53
就当我胡说八道的，也许可以测

首先，测出样品的反射率，找到反射率最低时的波长，比如500nm
其次，测出表层的折射率，如果是致密膜，那可以考虑TiO2折射率用n=2.70代替

通过表面镀膜干涉原理计算出大致的薄膜厚度
光程差=kpi 导出4nh=kpi 带入4*2.7*h=k*500 因此 厚度h=k*46.3nm，k为自然数
这种方法可以大致估计出薄膜厚度

希望可以供参考
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2楼2012-11-07 13:44:42
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