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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅片表面光刻
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weiqb625

金虫 (小有名气)

[求助] 硅片表面光刻

国内哪里可以在硅片表面加工微米级的条形图案，用于PDMS复制印章用的，谢谢！
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yswyx的关于光刻的各种回复

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1楼 2012-11-04 21:42:45
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sun-boymlh

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=5164610
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http://d.namipan.com/d/Ashcroft,%20Neil%20W,%20Mermin,%20David%20N%20-%20Solid%20State%20Physics(T).djvu/f0504e0c934fa43e8b69e21671ca15dab32ef84964 .
5楼2012-11-12 19:07:04
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exciting1973

禁虫 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
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2楼2012-11-04 22:33:32
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
kunpeng1782: 金币+3, 专家考核, 专家指导 2012-11-05 10:54:58
这个很简单，有光刻机和刻蚀机的地方都能做。
精度要求短信详细说吧。
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3楼2012-11-05 00:03:13
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王娇娇

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
微电子所，物理所都可以加工，就看你要求达到什么级别了
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4楼2012-11-05 12:34:33
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