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300841511142

铁虫 (初入文坛)

[求助] AFM仪器的height与height sensor 已有1人参与

说明书里Height的描述是：：The Z piezo voltage set by the feedback calculation in the Digital Signal Processor (DSP) is displayed. (The displayed data comes from the voltage output to the Z piezo.)Units are distance. Standard imaging of topography.
说明书里Height sensor的描述是：：Displays the signal from the Z position sensor in the closed loop head
1.扫描的图里面有height 与 height sensor2种图，看起来很像，但我不懂表征的各是什么？高度与高度传感器到底区别在什么地方？？？
2.个人觉得应该是读取height的Rq这个结果才是粗糙度，师傅说读取height sensor的吧，height图经常有毛病，trace和retrace重合不好，请问这毛病能调好吗？
3.我们现在读取height sensor去表征物品的表面粗糙度，会被人笑话吗？？
4.同个物品检测的height与height sensor的Rq数据很接近，数值的差距说明的是什么问题？
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学到老，活到老
1楼 2012-11-02 11:53:29
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exciting1973

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
4楼2012-11-05 10:29:31
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exciting1973

禁虫 (正式写手)
感谢参与，应助指数 +1
本帖内容被屏蔽
2楼2012-11-02 17:23:47
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300841511142

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting1973 at 2012-11-02 06:23:47
请问你用的是什么品牌的机器？
1. height就是直接通过反馈控制加到z轴压电陶瓷上的电压计算出来的结果；而height sensor是通过闭环中的传感器上得到的实际z轴压电陶瓷走的距离。之所以会有height sensor，是因为压 ...

谢谢您的回答，我用的是bruker的DIMENSION ICON，再请问一下您：
1.如您说算，height是个计算结果，height sensor是个测量数据，为什么您还说height sensor更准一些？它的计算方法还比不上直接测量的啊？
2.既然height sensor更准一些，那为什么还要有height这个测试量？
3.二者名字的直译，为什么我老感觉height才是对应物品表面的高度起伏变化，而height sensor只是一个对传感器的监控而已，这个问题最困扰我了!!!
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学到老，活到老
3楼2012-11-05 10:20:35
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300841511142

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by exciting1973 at 2012-11-04 23:29:31
别客气。
1. height是从施加到压电陶瓷上的电压计算得到的数值，施加这个电压是希望压电陶瓷能够走到指定的位置，但是由于压电陶瓷自身的迟滞、蠕变等效应，使它无法走到指定的位置，或远或近。这时可以通过传感器 ...

谢谢您的热心回答
1.对于你的回答，好像就要height sensor结果就行了，那为什么还有height这个东西呢？
2.拿其中一个真实例子来说，我测试的晶片的粗糙度是很小的数值，您认为读取height sensor的0.251nm好，还是读取height的0.412nm好？？？
3.再给我传授一下，Rq与Ra值的含义好么？网上查好像只是计算方法不同而已，为什么我们只拿一个，而不是另一个来表征结果呢？
谢谢，我只有一份电子说明书，修行全靠个人啊
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学到老，活到老
5楼2012-11-07 11:13:34
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