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在Pt/Ti/SiO2/Si 上旋涂镀BiFeO3膜，第一层能涂上，第二层开始怎么没涂上啊
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| 在Pt/Ti/SiO2/Si 上旋涂镀BiFeO3膜，第一层能涂上，第二层开始怎么感觉没涂上啊，第二层之后涂烘干的时候表面感觉就没变化，涂了十几层感觉好像没变化，测表面电阻和基底的电阻差不多，才几个欧姆，在硅片上试就没问题，请教大侠们是怎么回事啊 |
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yswyx 
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【答案】应助回帖
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涂多层膜的时候，第一层总是最后的一层，后面其它层的涂覆，因为溶剂都是一样的，所以会溶解涂好的第一层，并且流体在表面的流阻会比第一次低很多。所以第二次涂膜的厚度，会小于第一层。 第二层以后涂覆的厚度变化，肉眼是很难观察的，因为和第一次的外观是一样的，只是因为涂覆的薄膜表面会有起伏，所以随着不断的重复涂膜，薄膜整体的厚度均匀性会越来越差。但是很多时候这个变化也是肉眼难以观察的。 建议你还是用台阶仪在涂覆的过程中不断的测一下膜厚。也可以人为的制造一些断层，通过显微镜观察。 |
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yswyx
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