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zhufu878

金虫 (正式写手)

[求助] 在Pt/Ti/SiO2/Si 上旋涂镀BiFeO3膜,第一层能涂上,第二层开始怎么没涂上啊

在Pt/Ti/SiO2/Si 上旋涂镀BiFeO3膜,第一层能涂上,第二层开始怎么感觉没涂上啊,第二层之后涂烘干的时候表面感觉就没变化,涂了十几层感觉好像没变化,测表面电阻和基底的电阻差不多,才几个欧姆,在硅片上试就没问题,请教大侠们是怎么回事啊
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2012-10-31 18:17:03
涂多层膜的时候,第一层总是最后的一层,后面其它层的涂覆,因为溶剂都是一样的,所以会溶解涂好的第一层,并且流体在表面的流阻会比第一次低很多。所以第二次涂膜的厚度,会小于第一层。
第二层以后涂覆的厚度变化,肉眼是很难观察的,因为和第一次的外观是一样的,只是因为涂覆的薄膜表面会有起伏,所以随着不断的重复涂膜,薄膜整体的厚度均匀性会越来越差。但是很多时候这个变化也是肉眼难以观察的。
建议你还是用台阶仪在涂覆的过程中不断的测一下膜厚。也可以人为的制造一些断层,通过显微镜观察。
2楼2012-10-31 15:16:33
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zhufu878

金虫 (正式写手)

但是怎么涂了十几层,电阻怎么还是很小啊,你电极的电阻大一点点
3楼2012-10-31 15:33:58
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zhufu878

金虫 (正式写手)

但是怎么涂了十几层,电阻怎么还是很小啊,比电极的电阻仅大了一点点
4楼2012-10-31 15:44:32
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


难不成是哪里短路了?
5楼2012-10-31 20:18:27
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