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秋后的蚊子

金虫 (小有名气)

[求助] 电镜测试

各位大侠:
     我第一次用SEM测试下ZnSe膜(subtrate是ITO Glass和低电阻硅片)想咨询下预测试前是否需要喷金?测电镜需要注意哪些重要事项?急求各位帮助指点。。  谢谢!
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永远的不努力 造成总差一点
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秋后的蚊子

金虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by xiejf at 2012-10-29 20:14:39
如果样品很薄而且基底导电可以不喷金

基底是导电的  就是做成致密膜结构时SEM扫不出来  做成线性结构时  就能呈现图案   还请指点一二  谢谢你
永远的不努力 造成总差一点
7楼2012-10-29 20:19:47
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查看全部 8 个回答

nanotio2

金虫 (正式写手)


chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2012-10-30 07:05:51
可以在表面贴一小条导电胶连接到托盘上
2楼2012-10-29 13:37:06
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秋后的蚊子

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by nanotio2 at 2012-10-29 13:37:06
可以在表面贴一小条导电胶连接到托盘上

导电胶是必须的  玻璃ITO面还有 硅片两种基底面 需要喷金吗  ?
永远的不努力 造成总差一点
3楼2012-10-29 16:35:38
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mxl10000

木虫 (正式写手)

强力边锋

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2012-10-30 07:06:09
秋后的蚊子: 金币+2, ★★★很有帮助, 谢谢 2012-11-03 15:26:11
低分辨率下,要不要喷金根据材料电导率决定,一般分辨率会比较清晰
高分辨率下(0.5微米往下),导电不好的材料表面会模糊不清。喷金之后,表面导电性改善,分辨率能达到几十纳米左右。
喷金是为了增强导电性,在电子束的照射下,被测物体表面易积累负电荷,这样照出来的图片发白,另外,在电子束照射下被测物体表面温度可达200度以上,如果你的样品导电性好的话就不用喷金
whenever、you、have、an、aim,you、must、sacrifice、something、of、freedom、to、attain、it.
4楼2012-10-29 19:58:03
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