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氮化钛是非化学计量比的物质吗?有几种配比?都导电吗?
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想做个氮化钛(TiN)膜,考虑到可能出现非化学计量比的氮化钛,所以问一下如果是非化学计量比的氮化钛(如TiNx)的性质,主要是是否导电? 谢谢 |
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wbcui
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