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TFT用p型重掺杂硅衬底的参数选择
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| 我想用p型重掺杂硅作为TFT的衬底，因为电阻率和掺杂浓度可选择，请问你们一般选用的p型重掺杂硅的电阻率和掺杂浓度是多少啊？晶相选（100）还是（111）？谢谢各位了。第一次做这个。 |
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