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[求助] 国外目前圆柱形MPCVD装置能制备多大的等离子体,国内外主要差距是什么?

因为目前正在做相关的课题,但是图书馆网站很难进去,所以迫切希望各位大神能给与准确点的回复,不甚感谢!重复一下问题:国外目前圆柱形MPCVD装置能制备多大的等离子体,国内外主要差距是什么?
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