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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 如何测量薄膜
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gmaillaji

金虫 (初入文坛)

[交流] 如何测量薄膜

本人所做实验中需要测量一镍膜的厚度,此镍膜附在一塑料基体上.厚度约在3~5微米之间.
有没有哪位虫友知道用什么测量?怎么测量精度最高?
[search]测量厚度[/search]
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1楼 2007-06-22 20:20:13
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shenzy_08

金虫 (小有名气)

用扫描电镜直接观察

★
fenghbu(金币+1):sem比较直观，台阶仪也可以！
测量薄膜的方法很多，但是本人觉得最好最直接的方法是用扫描电镜（SEM）直接观察断面，这样应该说是最直观的！
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2楼2007-06-22 21:22:17
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ahu123456

新虫 (小有名气)
椭偏法精度最高
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3楼2007-06-23 22:06:10
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gmaillaji

金虫 (初入文坛)
非常感谢以上几楼提供的帮忙.现在测量膜厚是我这个实验的主要问题了.
其实,我主要所需的值为镍膜的电阻值,但因为接触电阻不易控制.所以所对应出来的数据极不规则.所以也就只得做罢!转而通过测量膜厚,最好为无损测量.
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4楼2007-06-23 23:11:15
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