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chank铁杆木虫 (正式写手)
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请教一个材料表面元素微量、痕量分析的问题！
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本人希望测量半导体薄膜表面元素分布以及含量，有金属元素和非金属元素，某些元素含量可能小于0.1% 我了解了一些测试手段，如XPS，能谱仪、波谱仪、原子吸收光谱、x射线荧光光谱等等，理论上后两种分析精度比较高，但是据说只能分析金属元素，而非金属元素不能分析，不知道诸位有没有了解这一方面情况的，指点一下？ 谢谢 |
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yunxuan2006
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2楼2007-06-22 10:17:24
chank
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