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viviensweety

铁虫 (小有名气)

[求助] EDS能谱测试ZnO,原子比怎么不是1:1呢?

先上图吧
想知道Zn和O的At%比为什么不是1:1,而且我查了很多文献,用EDS测试ZnO和我的都差不多。
首先衬底是金刚石,用磁控溅射方法长的ZnO,靶是Zn靶,通入氧气,形成ZnO沉积到衬底上。
首先我自己想了两点原因:1是因为吸附氧2是沉积氧化锌的时候没结合完全
但是我觉得比值也不应该超过10:1呀,哪位知道原因的请赐教~哦,对了,EDS是SEM自带的。

1.JPG

[ Last edited by viviensweety on 2012-10-20 at 15:08 ]
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mosleo

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【答案】应助回帖

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EDS只是定性的测试,你想定量表征肯定是不行的了。
4楼2012-10-20 21:22:30
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