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liuxiaoyucrd

金虫 (小有名气)

[求助] 请问一下有经验的同学,要除去铜箔背面的石墨烯可以用什么方法?

请问一下有经验的同学,要除去铜箔背面的石墨烯可以用什么方法?
     之前看有人提到用氧气等离子体处理,如果可以那么该用什么样的等离子体参数?比如氧气的量和处理时间?
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marcmeng

银虫 (小有名气)

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liuxiaoyucrd: 金币+8, ★★★很有帮助, 很感谢,请问氧气等离子体溅射多长时间呢? 2012-10-20 10:01:43
设备不同参数是不一样的,不过假如要求不高的话,可以用胶带粘,也可以氩气等离子大功率打,反正把石墨烯破坏就好,要是要求完全去除且保留铜箔形貌,就只能氧气等离子了,试试这个参数: o2 25sccm, 45W,100mtoor。
什么也么有
2楼2012-10-19 08:54:32
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marcmeng

银虫 (小有名气)

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liuxiaoyucrd: 金币+3, 非常感谢 2012-10-25 12:44:48
看你石墨烯的厚度以及清除的要求而定,一般来说,清除的话我用5分钟,实测的切割速度是2层左右每分钟
什么也么有
3楼2012-10-24 09:32:40
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