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liuxiaoyucrd

金虫 (小有名气)

[求助] 请问一下有经验的同学，要除去铜箔背面的石墨烯可以用什么方法?

请问一下有经验的同学，要除去铜箔背面的石墨烯可以用什么方法?
     之前看有人提到用氧气等离子体处理，如果可以那么该用什么样的等离子体参数？比如氧气的量和处理时间？
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1楼 2012-10-18 21:41:44
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marcmeng

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liuxiaoyucrd: 金币+8, ★★★很有帮助, 很感谢，请问氧气等离子体溅射多长时间呢？ 2012-10-20 10:01:43
设备不同参数是不一样的，不过假如要求不高的话，可以用胶带粘，也可以氩气等离子大功率打，反正把石墨烯破坏就好，要是要求完全去除且保留铜箔形貌，就只能氧气等离子了，试试这个参数： o2 25sccm， 45W，100mtoor。
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什么也么有
2楼2012-10-19 08:54:32
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marcmeng

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
liuxiaoyucrd: 金币+3, 非常感谢 2012-10-25 12:44:48
看你石墨烯的厚度以及清除的要求而定，一般来说，清除的话我用5分钟，实测的切割速度是2层左右每分钟
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什么也么有
3楼2012-10-24 09:32:40
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